Mae'r offer cyfres CMP a ddatblygwyd yn annibynnol gan LSTD yn cyflenwi gweithgynhyrchwyr deunydd lled -ddargludyddion fel Si, sic, GAAS, LNP, GaN, CDTE, Diamond, ac ati. Mae'r offer ailgylchu wafer wedi mynd i mewn i sawl cwmni gweithgynhyrchu lled -ddargludyddion fel SMIC; Bydd y llinell gynhyrchu awtomataidd ar gyfer sgleinio carbid silicon yn cael ei chyflwyno i ffatri'r cwsmer ar gyfer cynhyrchu treial yn q 1 2024;
Ar sail y labordy gwreiddiol, bydd miliynau o Yuan yn cael eu buddsoddi i adeiladu ystafelloedd lefel 100000, lefel 10000, a 100 lefel 100 lefel ac offer profi manwl gywirdeb, a fydd yn cael eu harchwilio a'u defnyddio yn ail hanner 2024.
6 "/8" llinell sgleinio wafer sic
6 "/8" sic wafer
Ystafell lanhau 100 dosbarth
Peiriant glanhau aml-slot
Arolygu capasiti
